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洁净室检测之静电检测与验收

      一、测试目的 

      静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可仿真物体在该气流场中之残余表面电压。  

       二、测试程序  

      1.于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。 

      1、天棚和墙、柱面装饰工程在完成后应按电子行业标准SJ/T10694规定方法和下列项目进行性能检测：
　　A.天棚和墙、柱面装饰的罩面板必须选用静电耗散材料制成，罩面板的表面电阻值应为1.0×105～1.0×1010Ω，一级标准的上限应小于1.0×108Ω，二级标准的上限应小于1.0×109Ω。一般抹灰墙面或罩面板使用非静电耗散材料制成，其表面必须涂刷防静电涂层，涂层材料应符合静电耗散材料性能标准。
　　B.防静电地面的面层结构和用料应符合下列基本要求：
　　a.防静电地面的表层应是静电耗散性的材料，其表面电阻率应为1.0×105～1.0×1012Ω/□；或体积电阻率为1.0×104～1.0×1011Ω.cm。一级标准防静电地面的表层材料，其表面电阻率的上限应小于1.0×109Ω/.cm；或体积电阻率的上限应小于1.0×108Ω.cm。而且还应对材料进行静电衰减的量化检验，半衰期应小于0.5s。
　　b.防静电地面应有导静电泄放措施和接地构造，其地面对地泄放电阻值应为1.0×105～1.0×109Ω。一级标准防静电地面对地泄放电阻值的上限应不小于1.0×107Ω；二级标准防静电地面对地泄放电阻值的上限应不小于1.0×108Ω。
　　2、防静电工程中门窗及其它装修工程验收除应符合国家有关标准和相关行业标准规定外，尚应符合下列规定：
　　A.门窗密封性能和接地连接应全数检查。
　　B.门窗和各类装修的饰面应抽检测定表面电阻值。抽检数量应不小于三个自然间，每自然间内所有门窗和各类装修饰面全数检查。
　　C.易燃、易爆和洁净环境的门窗及其它装修工程，除应符合本规程的规定外，其施工和验收还应符合特种行业的国家标准和规范规定。
　　3、防静电工程中的电气施工交接验收除应符合国家有关标准的规定外，还应符合下列规定：
　　A.电子设备和设施的电影插座应全数检测，实际测得的中性线和接地线之间的电位差应不大于1V。
　　B.绘制相关的防静电工程电气施工竣工图。
　　4、防静电工程中的接地系统应进行专项验收，在交接验收时应提交下列文件和资料。
　　A.整个接地系统的竣工图，应标明各类接地连接点的实际位置和连接方式。
　　B.整个接地系统的实际施工记录，以及主要材料和配件质保书、合格证或出厂检验证明。
　　C.接地连接部位的电气连接可靠性的检查记录和接地连接部位之间的电阻值的测试记录。
　　D.接地电阻值的测试记录和接地装置的隐蔽验收签证。
　　5、按电子行业标准SJ/T10694的检测方法，检测防静电安全工作台的对地泄放电阻值应为1.0×105～1.0×109Ω。