洁净室检测之光照度测试
一、测前准备
1.洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成
2.测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。
3.洁净室环境需清洁完成
二、测试目的
此检测动作在于确认无尘室照明系统是否有达到设计要求。
三、测试仪器
专业照度仪 四、测试步骤
1.无尘室光源至少使用100小时以上，测试前需点亮2小时以上。
2.确认测试点及配置图编号。
3.将洁净室照度仪固定置于距离地板上1.2m高度，待数值稳定后量测10秒记录。
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